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专利号 2025109186682 申请日 2025-07-04 专利名称 基于激光诱导等离子体探针的亚波长成像系统及方法
授权日 2025-09-12 专利权人 中国石油大学(华东) 发明人 王斌;宁兴凯;张炳洋;高睦志
主分类号 G01N21/71 关键词 应用领域
摘要 本发明涉及电磁波成像技术领域,公开一种基于激光诱导等离子体探针的亚波长成像系统及方法。成像系统包括激光调控模块、高电阻半导体基底、微波近场散射模块和数据采集模块,激光调控模块由激光器、振镜和透镜组件,激光器、振镜、透镜组件、高电阻半导体基底和微波近场散射模块依次设置,微波近场散射模块与数据采集模块连接。成像方法包括形成暂态等离子体区域;设定数据采集模块的扫描点数、设定扫描矩阵;控制振镜将激光光斑跳转至当前坐标点;数据采集模块采集当前点信号的反射参数S11;对所采集的全部扫描点的反射参数S11数据进行统一处理。本发明实现了亚波长尺度的非接触式高分辨率成像,提高了系统稳定性、兼容性与扫描效率。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新材料产业    新材料相关服务
运营方式 合作方式
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