| 专利号 | 2022104727626 | 申请日 | 2022-04-29 | 专利名称 | 一种谐振增强型光电探测器及制作方法 |
| 授权日 | 2024-04-02 | 专利权人 | 聊城大学 | 发明人 | 范鑫烨;毕丽平;房文敬;牛慧娟;白成林;张霞;杨立山 |
| 主分类号 | H01L31/0232 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 一种新型谐振增强型光电探测器及制作方法，涉及半导体技术领域，具体属于一种新型谐振增强型光电探测器及制作方法。其特征在于，包括超结构层、衬底层、第一分布式布拉格反射镜、谐振腔层、第二分布式布拉格反射镜、隔离层、缓冲外延层、第一接触层、本征层、本征吸收层、P型掺杂的InAlAs层、第二接触层。第二分布式布拉格反射镜、隔离层、缓冲外延层、第一接触层通过刻蚀形成叠置在谐振腔层上的第一圆柱形台体，本征层、本征吸收层、P型掺杂的InAlAs层、第二接触层通过刻蚀形成叠置在第一接触层上的第二圆柱形台体。本发明具有提高光电转换效率和量子效率，以及实现多波长探测以及传感功能的积极效果。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 生物产业 生物医学工程产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
