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专利号 2023109664810 申请日 2023-08-03 专利名称 一种基于薄膜滤波器的半导体激光光谱合束装置及方法
授权日 2023-11-24 专利权人 山东大学 发明人 郑婉华;赵昺旭;张伟桥;周旭彦;张建心;董风鑫;孟令谦
主分类号 H01S5/40 关键词 应用领域
摘要 本发明涉及一种基于薄膜滤波器的半导体激光光谱合束装置及方法,属于半导体激光器技术领域。装置包括半导体激光器、快轴准直镜、慢轴准直镜、反馈端汇聚透镜、薄膜滤波器、扩束透镜、反射镜、输出端汇聚透镜和衍射光栅,其中,若干个半导体激光器并排设置,半导体激光器两端分别依次设置有快轴准直镜和慢轴准直镜,一端的慢轴准直镜外侧依次设置有反馈端汇聚透镜、薄膜滤波器、扩束透镜和反射镜,另一端的慢轴准直镜外侧依次设置有输出端汇聚透镜和衍射光栅。本发明降低了光谱串扰,保证波长锁定,有效提升合束激光的输出功率、合束效率、反馈效率和光束质量,并减小反馈串扰以及合束装置的整体尺寸。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新一代信息技术    电子核心产业
运营方式 合作方式
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【关 闭】