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专利号 2019101644723 申请日 2019-03-05 专利名称 一种调节激光加热基座晶体生长温度梯度的装置及方法
授权日 2020-10-30 专利权人 山东大学 发明人 贾志泰;王涛;陶绪堂
主分类号 C30B15/14 关键词 应用领域
摘要 本发明涉及一种调节激光加热基座晶体生长温度梯度的装置及方法,该装置由导轨、加热光源、红外测温系统以及控制系统组成;加热光源设置在导轨上,并且可在导轨上自由滑动;控制系统与红外测温系统和加热光源连接,根据红外测温系统的温度测试结果控制加热光源滑动位置和加热温度。本发明远离激光加热基座设备的光路部分,不会对其原有的晶体生长过程产生干扰,并且该装置安装简便,配件成本较低,便于后期的替换与维修。与原有的激光加热基座技术相比,该装置可以有效的降低晶体生长过程的温度梯度,极大的提高了晶体质量。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新材料产业    先进无机非金属材料
运营方式 合作方式
联系人 联系电话 电子邮箱
详细说明
【关 闭】