| 专利号 | 2019103630000 | 申请日 | 2019-04-30 | 专利名称 | 一种铌酸锂平面波导上的光电探测器及制备方法 |
| 授权日 | 2022-07-05 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 王羿文;胡卉;张洪湖;朱厚彬;李青云 |
| 主分类号 | H01L31/102 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本公开提供了一种铌酸锂平面波导上的光电探测器及制备方法，自下而上分别包括铌酸锂平面波导本体、硅薄膜和叉指电极，所述铌酸锂平面波导本体自下而上依次包括铌酸锂衬底、二氧化硅层和铌酸锂薄膜，通过异质集成非晶硅薄膜的方式在LNOI上制备光电探测器，通过端面耦合的方法将光耦合到铌酸锂单晶薄膜中，利用光电探测器实现了对波导中传播光的探测，其暗电流低，制备简单，为LNOI上集成光芯片的实现探索了道路。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新能源产业 太阳能产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
