| 专利号 | 2024108028723 | 申请日 | 2024-06-20 | 专利名称 | 基于LD泵浦翠绿宝石晶体的高重频193nm激光器 |
| 授权日 | 2025-01-10 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 赵智刚;王景冲;刘兆军;丛振华 |
| 主分类号 | H01S3/109 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明属于激光技术领域，提供了一种基于LD泵浦翠绿宝石晶体的高重频193nm激光器，其包括LD泵浦源、翠绿宝石激光振荡器和非线性频率变换模块；所述LD泵浦源用于产生激光并输入至翠绿宝石激光振荡器；所述翠绿宝石激光振荡器包括沿着光路依次设置有第一双色镜、翠绿宝石晶体、第一平凸透镜、双折射滤光片、调Q器件、第一四分之一波片和输出耦合镜；所述翠绿宝石激光振荡器用于产生基频光源；所述基频光源依次经过第一二分之一波片及第二平凸透镜输入至非线性频率变换模块中，得到193.4nm激光。整个系统为全固态结构，具有泵浦源稳定性好且集成度高、基频光源波长短、非线性变换次数少、总体电光转换效率高和系统整体成本低等特点。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
