| 专利号 | 2025101522558 | 申请日 | 2025-02-12 | 专利名称 | 一种两步法制备的镓酸锌薄膜及制备方法和应用 |
| 授权日 | 2025-05-09 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 李阳;徐梦凡;展茜茜;穆文祥;贾志泰 |
| 主分类号 | C30B25/18 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种两步法制备的镓酸锌薄膜及制备方法和应用，属于半导体材料技术领域。本发明提供了一种两步法制备镓酸锌薄膜的方法包括以下步骤：对C面蓝宝石衬底进行预处理，去除表面杂质和水分，得到预处理蓝宝石衬底；将乙酰丙酮镓溶液和乙酰丙酮锌溶液混合后，加入盐酸，搅拌至完全溶解后，静置后获得上层清液；在常压条件下，以惰性气体为载流气体，将上层清液进行超声雾化处理后输送到预处理蓝宝石衬底表面，在500℃~550℃下沉积形成成核层，然后升温至600℃~650℃沉积形成外延膜，得到单晶尖晶石镓酸锌薄膜。本发明通过两步法制备得到了更高质量的镓酸锌薄膜。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
