| 专利号 | 2024106709509 | 申请日 | 2024-05-28 | 专利名称 | 碳化硅单晶线切割废砂浆的回收利用工艺 |
| 授权日 | 2025-02-07 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 王丽焕;徐奥雪;李刚;徐现刚 |
| 主分类号 | C01B32/956 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种碳化硅单晶线切割废砂浆的回收利用工艺，属于碳化硅晶圆切割砂浆回收技术领域。本发明利用简单的高速离心方法分离了废砂浆中的油类溶剂和固体部分，首先回收了澄清的油类溶剂。再采用成本低、环境友好的表面活性剂水溶液清洗固体表面残留的油分，同时分散团聚的碳化硅颗粒和吸附在金刚石表面的碳化硅颗粒，再使用无机酸水溶液去除固体中铁等金属杂质，使用绿色螯合剂水溶液二次清洗残留的金属离子。最后根据金刚石和碳化硅粒径的差别在低速、短时间的条件下分离出金刚石粉。本发明不同于大多采用的有机溶剂清洗方法，采用水溶液进行清洗，具有环境友好、操作简单、成本低等优势。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
