| 专利号 | 2017106169017 | 申请日 | 2017-07-26 | 专利名称 | 利用苯系蒸汽对石墨烯表面处理的方法及应用 |
| 授权日 | 2020-08-21 | 专利权人 | 山东理工大学 | 发明人 | 姜兆辉;郭增革;李春红;刘玉洁 |
| 主分类号 | H01L21/336 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种利用苯系蒸汽对石墨烯表面处理的方法，包括以下步骤：1）清洗衬底：依次分别采用丙酮、甲醇、异丙醇清洗衬底各5分钟，并烘干待用；2）采用Sol‑Gel旋涂法在衬底上旋涂石墨烯溶液，再通过机械剥离HOPG获得石墨烯；3）对石墨烯进行表面处理：利用苯系蒸汽在ALD沉积系统里对石墨烯进行表面处理，将衬底放入ALD真空腔室后，沉积的参数为：反应温度90～150℃；反应源：苯系蒸汽；脉冲和清洗时间：金属源和水源的脉冲都为0.1~0.4s；每次金属源脉冲之后，都接着用高纯氮气清洗，反应时间为15~60s，该方法可以实现损伤低，重复性好的能使石墨烯层与栅介质层很好地结合。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
