| 专利号 | 2016103115237 | 申请日 | 2016-05-12 | 专利名称 | 一种降低导通电阻的光导开关及其制备方法 |
| 授权日 | 2019-08-27 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 徐现刚;肖龙飞 |
| 主分类号 | H01L31/0216 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种降低导通电阻的光导开关及其制备方法。该光导开关包括砷化镓衬底，所述衬底的一面设置有增透膜，另一面的两侧分别设置有电极，所述两电极之间设置有高反膜。本发明还提供在砷化镓衬底表面分别蒸镀高介质增透膜和高反膜减小砷化镓光导开关的导通电阻的方法。较低导通电阻可以降低开关器件工作在高功率、高频的情况下的能量损耗，提高开关工作寿命和稳定性。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新能源产业 太阳能产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
