| 专利号 | 2019113524436 | 申请日 | 2019-12-25 | 专利名称 | 三维MEMS海洋湍流传感器 |
| 授权日 | 2021-01-15 | 专利权人 | 中国海洋大学 | 发明人 | 杨华;孙斐;王晓波;宋大雷;王向东 |
| 主分类号 | G01L9/06 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种三维MEMS海洋湍流传感器，涉及传感器领域。该三维MEMS海洋湍流传感器包括传感单元，传感单元包括基底结构，基底结构上设有四个呈十字形排列的微悬臂梁，各个微悬臂梁朝向十字形中心的一端呈卷曲状，基底结构和微悬臂梁上包覆有弹性包覆体；每一微悬臂梁包括自下而上设置的Si薄膜层、SiN薄膜层和Cr薄膜层，微悬臂梁上设有压敏电阻，每一压敏电阻与三个恒定电阻构成惠斯通电桥，微悬臂梁的下端面通过SiO2层连接于基底结构上，基底结构呈长方体形，每一微悬臂梁的一端设置于基底结构的一条外侧边处，另一端伸向基底结构的中心，并向上卷曲。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
