| 专利号 | 2021104709303 | 申请日 | 2021-04-29 | 专利名称 | 一种PN微米线制备方法 |
| 授权日 | 2023-04-14 | 专利权人 | 齐鲁工业大学 | 发明人 | 赵乐 |
| 主分类号 | H01L29/66 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种PN微米线制备方法，所述PN微米线包括微米线、P型接触面和N型接触面，所述方法包括：利用分子束外延生长方法制备PN结样品，并获取P型层厚度、N型层厚度和缓冲层厚度；根据P型层厚度、N型层厚度和缓冲层厚度计算微米线刻蚀深度和N型接触面刻蚀深度；利用湿蚀刻根据微米线刻蚀深度和N型接触面刻蚀深度在PN结样品上刻蚀出微米线和N型接触面；在P型接触面和N型接触面上沉积金属膜。能够制备出带有P型接触面和N型接触面的微米线，制备方法简单异形，制备的PN微米线的电学特性能够达到模拟神经纤维的效果。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
