| 专利号 | 2024108303684 | 申请日 | 2024-06-25 | 专利名称 | 一种适用于低压力化学气相沉积法的石英装置 |
| 授权日 | 2026-02-24 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 徐明升;贾垂邦;陈晓华;韩吉胜;徐现刚 |
| 主分类号 | C23C16/455 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种适用于低压力化学气相沉积法的石英装置，包括横向的圆柱形的石英舟外壳，石英舟外壳内部从右向左依次竖向设置有第一隔板、第二隔板和第三隔板，第三空腔内中心设置有横向圆柱形的鼠笼舟，鼠笼舟的圆周面上均匀设置有若干通孔，第一隔板中心设置有中心通孔，第二隔板和第三隔板上均匀设置有若干通气孔，石英舟外壳右端面底部设置有进气口。本发明的有益效果是：本发明可以有效改善晶圆片表面流速不均匀导致的沉积不均匀现象，同时减少炉管内壁的薄膜沉积，节约生产成本。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
