| 专利号 | 2024119420395 | 申请日 | 2024-12-27 | 专利名称 | 利用内共振提升微谐振器模态振幅和温度灵敏度的方法 |
| 授权日 | 2025-04-25 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 刘铎;孙杰帅 |
| 主分类号 | H03H9/24 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种利用内共振提升微谐振器模态振幅和温度灵敏度的方法，属于微机电系统调控技术领域，包括在探测电压下测得薄膜微谐振器的基础模态和高频模态；在基础模态处施加泵浦电压，实现对高频模态的振幅增强；在基础模态处施加泵浦电压的同时，使用激光对薄膜微谐振器进行加热，完成对温度的检测。本发明只需要一个信号发生器输出一个低频且低电压的泵浦信号对薄膜微谐振器进行调制，即可实现对薄膜微谐振器高频模态的振幅增强以及温度灵敏度的提升，原理简单，操作简便。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
