| 专利号 | 2021115394345 | 申请日 | 2021-12-15 | 专利名称 | 一种柔性透明圆锥体有序阵列构筑的SERS衬底制备方法 |
| 授权日 | 2024-01-12 | 专利权人 | 曲阜师范大学 | 发明人 | 王星;冯素娟;刘广强;尚亮;孟路平;唐志兵 |
| 主分类号 | G01N21/65 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种柔性透明圆锥体有序阵列构筑的SERS衬底制备方法，步骤1.先对剪好的PI薄膜进行超声波清洗，同时配制500nm规格的PS球液体，待PI薄膜清洗干燥完后备用。步骤2.对清理干净的PI薄膜进行PS球转移，将PS球铺在PI薄膜的表面，备用。步骤3.将铺好PS球的PI薄膜进行反应离子刻蚀，所用的气体为SF6和O2，其中，SF6流量为40sccm，O2流量为20sccm。步骤4.对反应离子刻蚀过的PI薄膜进行磁控溅射镀膜。本发明衬底满足柔性透明的条件，以PI(聚酰亚胺薄膜)为主要材料，且衬底表面呈有空心圆锥体的有序结构阵列。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 新材料相关服务 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
