| 专利号 | 2021115581568 | 申请日 | 2021-12-17 | 专利名称 | 改善多晶金刚石质量的可升降网状沉积预处理装置及方法 |
| 授权日 | 2023-03-28 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 王希玮;彭燕;曹振忠;刘长江;王笃福;徐现刚 |
| 主分类号 | C30B29/04 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 一种改善多晶金刚石质量的可升降网状沉积预处理装置及方法；该装置包括底座、转动平台、定位柱、衬底罩和筛网，转动平台安装在底座上，转动平台上分布有定位柱，定位柱上设置有挤压机构，转动平台上设置有衬底罩，衬底罩内设置有移动筛网。预处理方法是：将甩胶后的衬底涂胶面向上置于转动平台上并用衬底罩罩住，通过挤压机构压紧衬底罩，将金刚石微粉由筛网落在衬底表面，转动平台转动；或者是将装置置于盛有金刚石微粉的容器中，按压筛网至衬底上，对容器超声振荡处理。本发明可有效降低沉积多晶由中心到衬底边缘的成核速率差与沉积速率差，使整个衬底在沉积多晶金刚石的过程中沉积层中心到边缘的厚度保持一致，保证了沉积的多晶金刚石层由中心到边缘晶体质量统一，分布均匀。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
