| 专利号 | 2021109368184 | 申请日 | 2021-08-16 | 专利名称 | 基于弱测量理论的超高精度光学元件表面轮廓仪 |
| 授权日 | 2022-05-24 | 专利权人 | 中国海洋大学 | 发明人 | 曲慧超;肖芽;韩鑫红;顾永建 |
| 主分类号 | G01B11/24 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开基于弱测量理论的超高精度光学元件表面轮廓仪，包括光源发生器、前选择系统、测量系统、后选择系统，光源发生器，用于产生测量用的光束；前选择系统，用于获取光束的前选择态；测量系统，用于对光学元件表面粗糙度进行检测；后选择系统，用于获取光束的后选择态；光源发生器与前选择系统连接，前选择系统与后选择系统之间依次设置有相位调制模块和分光装置，后选择系统的输出端与相位调制模块连接。本发明使用差分探测调制弱测量，借助线性弱值放大区域，提高了光学元件表面轮廓仪测量精度，并且将测量结果作为反馈信息实时调制后选择态，在保持较高的测量灵敏度的同时，拓宽轮廓仪测量范围。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 高端装备制造 智能制造装备产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
