| 专利号 | 2021113751456 | 申请日 | 2021-11-19 | 专利名称 | 一种静电激励梳齿检测的MEMS谐振式压力传感器 |
| 授权日 | 2023-11-17 | 专利权人 | 山东理工大学 | 发明人 | 庄须叶;律明琛;李平华;于志逾;张佳宁 |
| 主分类号 | G01L1/14 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 一种静电激励梳齿检测的MEMS谐振式压力传感器，包括压力敏感层，谐振结构单元及激励检测结构。其中压力敏感层包含一压力敏感薄片及四个锚区，压力敏感薄片经锚区与谐振结构单元相连。谐振结构单元包括侧梁及谐振梁。静电激励和检测结构包括上端面、固定梳齿、振动梳齿，固定梳齿与上端面连接，振动梳齿与谐振梁相连接，分别用于驱动谐振结构单元发生谐振和检测输出信号。本发明设计的静电激励梳齿检测的MEMS谐振式压力传感器，采用十字形谐振梁、静电梳齿和侧梁结构，提高了传感器的工作稳定性和灵敏度，降低了激励能耗。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
