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专利号 2022106457636 申请日 2022-06-09 专利名称 一种抑制杂散光的表面微结构及吸光装置
授权日 2025-02-28 专利权人 青岛理工大学 发明人 邵晶;李卓;王英明;聂真威;韩素立;董浩
主分类号 G02B5/122 关键词 应用领域
摘要 本公开提供了一种抑制杂散光的表面微结构及吸光装置,属于光学系统杂散光抑制领域,包括基底以及设置在基底表面的多个反射结构,多个反射结构呈周期性排布在基底表面上,形成锯齿状结构,所述反射结构包括前反射面和后反射面,所述前反射面与后反射面倾斜设置,前反射面、后反射面和基底表面形成三角形结构,所述表面微结构设置在吸光装置的内壁上,通过将所述表面微结构设置在吸光装置的内壁上,替代笨重的遮光罩结构,进一步缩减光学系统整体的体积和质量。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 高端装备制造    智能制造装备产业
运营方式 合作方式
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【关 闭】