| 专利号 | 2017101535074 | 申请日 | 2017-03-15 | 专利名称 | 一种在硅基上无金属催化剂制备石墨烯的方法 |
| 授权日 | 2019-02-26 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 张琳;慈立杰;王旭天 |
| 主分类号 | C23C16/02 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种在硅基上无金属催化剂制备石墨烯的方法。本发明采用本发明采用射频磁控溅射技术和化学气相沉积的方法，用六方氮化硼靶作为磁控溅射靶材，用有300nm二氧化硅的<100>晶向的硅基作为溅射衬底，通过在硅基上直接沉积硼氮薄膜作为催化剂，其上生长石墨烯，省去了溅射沉积金属催化剂的步骤，从而达到优化工艺，节约资源，降低成本的效果。同时通过控制化学气相沉积过程中的参数，使得制备得到的石墨烯一致性良好，具有较好的热和化学稳定性。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
