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专利号 2022108007357 申请日 2022-07-08 专利名称 一种预应变辅助的褶皱形式微纳结构制造装置及方法
授权日 2024-09-17 专利权人 山东大学 发明人 张成鹏;季金;杨少华;窦建淇;汪涛;王虎;梁允豪
主分类号 B81C1/00 关键词 应用领域
摘要 本发明涉及一种预应变辅助的褶皱形式微纳结构制造装置及方法,包括:应变施加机构,应变施加机构用于设置样品的空间下方设有移印台,移印台与第一升降部件连接;刮涂机构,包括刮涂平台和刮刀,刮涂平台设置在应变施加机构一侧,刮刀与安装在刮涂平台的第一直线驱动部件连接以实现直线往复运动;移印机构,包括设置在应变施加机构和刮涂机构上方的移印头,移印头通过第二升降部件与第二直线驱动部件连接以实现将刮涂平台上的镀膜材料移印至应变施加机构固定的样品表面,采用本发明的装置自动化程度高,操作方便。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新一代信息技术    电子核心产业
运营方式 合作方式
联系人 联系电话 电子邮箱
详细说明
【关 闭】