| 专利号 | 2021107793894 | 申请日 | 2021-07-09 | 专利名称 | 一种调控紫外光电探测器光响应性能的方法 |
| 授权日 | 2023-08-08 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 陈秀芳;李晓蒙;徐现刚 |
| 主分类号 | H01L31/18 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种调控紫外光电探测器光响应性能的方法，该方法利用光刻胶作为保护层通过氧等离子体处理工艺调控样片表面石墨烯条带的长宽比，条带状光刻胶保护层的长宽比为(50‑150)：1，可以大大提高探测器的光响应速度和响应度，制备工艺简单，同时在调控过程中没有引入多余的外加物理场就可以实现明显的性能提升，进一步增加了相关器件的应用价值。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新能源产业 太阳能产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
