| 专利号 | 2025113238798 | 申请日 | 2025-09-17 | 专利名称 | 一种碳化硅衬底中小型堆垛层错缺陷的多模态检测方法 |
| 授权日 | 2025-11-28 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 胡秀飞;侯新悦;陈秀芳;徐现刚;杨祥龙;谢雪健 |
| 主分类号 | G01N21/88 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明属于碳化硅缺陷检测技术领域，具体涉及一种碳化硅衬底中小型堆垛层错缺陷的多模态检测方法，包括以下步骤：对待测碳化硅衬底进行光致发光成像，得到小型堆垛层错缺陷的候选区域；对所述候选区域进行显微光致发光光谱二维映射扫描，得到候选区域内光谱强度映射图像；构建多模态匹配模型，并对光谱强度映射图像和光致发光成像进行空间配准，通过计算加权像素重叠率确认单个小型堆垛层错缺陷；对单个小型堆垛层错缺陷进行显微光致发光光谱二维映射扫描，确定缺陷形貌与尺寸。该方法具有高灵敏度与高分辨率的优点，适用于大尺寸碳化硅衬底缺陷的快速检测与在线质量控制，具有良好工业应用前景。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 新材料相关服务 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
