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专利号 2015100533602 申请日 2015-02-02 专利名称 一种提高物理气相传输法生长4H?SiC 晶体晶型稳定性的方法
授权日 2017-09-01 专利权人 山东大学 发明人 徐现刚;杨昆;胡小波;彭燕;陈秀芳;杨祥龙
主分类号 C30B29/36 关键词 应用领域
摘要 本发明涉及一种提高物理气相传输法生长4H‑SiC晶体晶型稳定性的方法。该方法包括:改变晶体生长体系结构或材质,促进粉料升华的气相组分与生长体系中石墨材料的反应,进而增加输运至生长界面组分的C/Si比,增加4H‑SiC晶型的稳定性,使整个生长过程中单晶保持4H晶型。使用本发明方法,4H‑SiC晶型为稳定性明显提高。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新材料产业    先进无机非金属材料
运营方式 合作方式
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【关 闭】