| 专利号 | 2019108381606 | 申请日 | 2019-09-05 | 专利名称 | 一种双导通型碳化硅光导开关及其制备方法 |
| 授权日 | 2021-03-12 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 肖龙飞;陈秀芳;徐现刚 |
| 主分类号 | H01L31/101 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种双导通型碳化硅光导开关及其制备方法，该光导开关包括碳化硅衬底，碳化硅衬底的上表面的两侧分别设置有电极，电极与碳化硅衬底之间通过设置高掺杂的外延层或离子注入或退火形成欧姆接触，电极之间的电流通道区域上设置有图形化刻蚀处理的图形；当激光触发光导开关后，光生载流子使得光导开关产生第一次导通，电流通道区域上图形化刻蚀处理的图形引起表面闪络引起放电，产生第二次导通，实现一次激光触发两次导通。本发明提供的双导通型碳化硅光导开关通过图形化处理电极之间的电流通道区域，使得初级能量更加充分释放，并且一次触发两次导通，且在触发频率上有所提高。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新能源产业 太阳能产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
