| 专利号 | 2019106027744 | 申请日 | 2019-07-05 | 专利名称 | 一种在低温环境中制备铟铝锌氧化物薄膜晶体管的方法 |
| 授权日 | 2022-11-25 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 冯先进;徐伟东 |
| 主分类号 | H01L21/34 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种在低温环境中制备铟铝锌氧化物薄膜晶体管的方法，所述多元非晶金属氧化物薄膜晶体管由下自上依次包括衬底、IAZO有源层、源电极和漏电极，所述源电极和漏电极生长在所述IAZO有源层上，该制备方法在20℃‑70℃的温度下进行，包括步骤如下：(1)在衬底上生长IAZO薄膜，制得所述IAZO有源层；(2)将步骤(1)生成后的器件放置于UV‑ozone中，处理时间为5分钟；(3)在所述IAZO有源层表面生长源电极和漏电极，即得。本发明通过探索和优化UV‑ozone对IAZO有源层的处理，在低温环境中制备出了高性能的IAZO TFT。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
