| 专利号 | 2021105232912 | 申请日 | 2021-05-13 | 专利名称 | 基于Fano共振耦合谐振腔太赫兹波导传感器件及其制备方法 |
| 授权日 | 2022-04-12 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 时彦朋;李美坪;刘笑宇;宋金梅 |
| 主分类号 | G01N21/41 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明属于太赫兹亚波长结构传感技术领域，提供了一种基于Fano共振耦合谐振腔太赫兹波导传感器件及其制备方法。其中，基于Fano共振耦合谐振腔太赫兹波导传感器件包括衬底和波导传感单元，波导传感单元设置在衬底上，波导传感单元包括波导、矩形谐振腔及金属墙，所述矩形谐振腔以垂直于波导的方向直接连接在波导一侧，所述金属墙设置在矩形谐振腔一侧设定距离处的波导介质中，所述金属墙的中心设有孔径；所述矩形谐振腔的方向与电场偏振方向保持平行，波导的输入端用于接收太赫兹波，以使得太赫兹波在传输过程中满足共振条件时，产生Fano共振。其采用金属‑介质‑金属波导耦合谐振腔结构实现了尖锐的Fano共振、高Q因子、高灵敏度的折射率传感应用。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 新材料相关服务 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
