| 专利号 | 2022117038547 | 申请日 | 2022-12-29 | 专利名称 | 一种阶梯型波导微腔折射率传感器的制备方法 |
| 授权日 | 2025-08-12 | 专利权人 | 聊城大学 | 发明人 | 马海俐;姚一村;张丽强;王明红;刘才龙;白成林 |
| 主分类号 | G01N21/41 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种阶梯型波导微腔折射率传感器的制备方法，步骤如下：（1）采用飞秒激光刻写技术，在透明基底材料中刻写直条型单模波导；（2）采用微加工技术，将波导区域的一侧面制备阶梯型微腔，该阶梯型微腔结构，由两个长宽不一的矩形微腔组成，两微腔长度方向均沿波导传输方向，其垂直于于波导传输方向上的两个矩形横截面各覆盖波导模场的一部分，且两个矩形横截面的总和未覆盖全部波导模场。相对于现有的波导微腔干涉型传感器，可以突破FSR对折射率探测范围的限制，从而可以在较大折射率变化范围内，准确读取液体的实际折射率数值。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 新材料相关服务 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
