| 专利号 | 2026100765010 | 申请日 | 2026-01-21 | 专利名称 | 一种连续波深紫外激光器及方法 |
| 授权日 | 2026-03-31 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 赵智刚;孙松松;刘兆军 |
| 主分类号 | H01S3/0933 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明属于激光器技术领域。提出了一种连续波深紫外激光器及方法，包括：单频种子激光器、多级光纤放大模块、单程二次谐波转换模块、谐振增强四次谐波转换模块和光束整型模块，单频种子激光器用于输出基频激光，多级光纤放大模块用于对基频激光进行功率放大，单程二次谐波转换模块直接采用周期极化非线性晶体将放大的基频激光转换为二次谐波激光，谐振增强四次谐波转换模块用于通过谐振腔将二次谐波激光转换为深紫外激光；光束整型模块用于将深紫外激光的畸形光斑整形成高斯光斑。本发明在保证连续波深紫外激光高效输出的前提下，减少了谐振增强腔的使用数量，降低了系统复杂度和调试难度。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
