| 专利号 | 2021112513041 | 申请日 | 2021-10-27 | 专利名称 | 一种直径调控制备高性能金属纳米纤维场效应晶体管的方法 |
| 授权日 | 2023-05-26 | 专利权人 | 青岛大学 | 发明人 | 王凤云;徐沛龙;朱鑫旭;丛浩菲 |
| 主分类号 | H01L29/06 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明属于场效应晶体管制备技术领域，涉及一种直径调控制备高性能金属纳米纤维场效应晶体管的方法，先分别配制纯In静电纺丝前驱体溶液、纯Sn静电纺丝前驱体溶液和ITO静电纺丝前驱体溶液；再采用静电纺丝技术在高κ基底上制备附有NFs的高κ基底；最后将附有NFs的高κ基底处理后蒸镀一层60～100nm Al薄膜作为源、漏电极得到相应的晶体管，制备的In2O3、SnO2NFsFET，在无掺杂的情况下性能达到甚至超过同种材料掺杂最佳性能，迁移率高，大大降低了器件的功耗并提高了器件性能，具有极大的应用潜力。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
