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专利号 2024117836160 申请日 2024-12-06 专利名称 一种具备多信号感知功能的改性金刚石设计与制备方法
授权日 2025-03-07 专利权人 山东大学 发明人 王兵;赵旺;刘战强;赵金富;任小平;刘洋;吉春辉
主分类号 G01D21/02 关键词 应用领域
摘要 本发明公开了一种具备多信号感知功能的改性金刚石设计与制备方法,涉及新型传感器制造的技术领域。其中,该方法包括:根据金刚石感知不同类型环境信号时所需要的感应面积,将待掺杂的金刚石表面划分为多个待掺杂区域;根据不同类型环境信号的特性,对多个待掺杂区域分别设计与不同类型环境信号对应的几何参数,以改变不同掺杂区域之间的物理距离和相邻区域之间的相互作用;根据几何参数和使待掺杂区域边界的电场过渡平滑的梯度掺杂模型,分别对多个待掺杂区域掺杂对应的元素,得到具备多信号感知功能的改性金刚石。本发明通过上述方案,能够同时对多信号进行传感,并且降低了不同掺杂区域之间的电场耦合效应,提升了对不同信号进行传感的精确性。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 节能环保产业    先进环保产业
运营方式 合作方式
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【关 闭】