| 专利号 | 2018111293714 | 申请日 | 2018-09-27 | 专利名称 | 基于圆环形光子晶体纳米梁谐振腔的电驱动激光器 |
| 授权日 | 2023-07-25 | 专利权人 | 青岛科技大学 | 发明人 | 李惠;贾晓卫;郭广海 |
| 主分类号 | H01S5/10 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种基于圆环形光子晶体纳米梁谐振腔的电驱动激光器。该激光器由下至上依次包括Si基衬底、热氧化SiO2层、Si波导、BCB层、SiO2层、P掺杂层、有源区、N掺杂层、SiO2包覆层；所述Si基衬底、所述热氧化SiO2、所述Si波导共同构成SOI波导结构；所述P掺杂层、所述有源区、所述N掺杂层共刻出纳米梁谐振腔；所述P掺杂层上部在纳米梁谐振腔两侧镀有与Si波导平行的条状上电极，所述纳米梁谐振腔上部沿Si波导方向两端镀有下电极。本发明利用圆环形光子晶体纳米梁作为激光器的谐振腔，通过进一步减小光互连VCSEL有源区体积以提高激光器高速和低能耗性能。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
