| 专利号 | 2022105111908 | 申请日 | 2022-05-12 | 专利名称 | 一种共面电极垂直腔面发射激光器及其制备方法 |
| 授权日 | 2022-07-29 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 赵佳;张玉岐 |
| 主分类号 | H01S5/183 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及半导体激光器技术领域，具体公开了一种共面电极垂直腔面发射激光器及其制备方法，该激光器包括由下到上依次设置的衬底、缓冲层、氧化绝缘层、N型DBR层、下限制层、量子阱有源区、上限制层、氧化限制层、P型DBR层、欧姆接触层，激光器为二级台阶结构，第一台阶和第二台阶的外部沉积有钝化膜，第一台阶和第二台阶的侧面部分区域填充有BCB绝缘介质，第一台阶顶部设置金属正极，第二台阶上设置金属负极。本发明所公开的激光器在缓冲层和N型DBR层之间生长一层氧化绝缘层，经氧化后形成电流的绝缘层，从而将衬底和激光器电极之间进行绝缘，有利于降低激光器的阻抗，并去除后端电路对激光器的影响。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
