| 专利号 | 2019100708056 | 申请日 | 2019-01-25 | 专利名称 | 一种基于突出梳齿的MEMS驱动器及其工作方法 |
| 授权日 | 2020-06-26 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 刘兆军;李文睿;秦增光;关晨;丛振华;张行愚 |
| 主分类号 | G02B26/08 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种基于突出梳齿的MEMS驱动器及其工作方法，属于微机电领域，该驱动器包括可动部分、固定梳子、固定锚点和基底层，可动部分包括径向衍架、弧向衍架、可动梳子和弹性梁，固定梳子与可动梳子成对交叉分布，可动梳齿和固定梳齿均为突出梳齿。与现有技术相比，本发明采用了突出梳齿结构，该梳齿前后宽度不相同，施加电压后，前端较窄的梳齿将插入比梳齿略宽的间距中，梳齿间间距更小；梳齿的前端与后端分别形成了不同的静电驱动器，即在相同的结构长度中，可以设置更多对梳齿用于驱动，均有助于减小电压，可应用于外腔可调谐激光器，可以安装上或者将侧面制造成光栅或者平面镜，实现激光器的无跳模调谐。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
