| 专利号 | 2021109192971 | 申请日 | 2021-08-11 | 专利名称 | 一种扎针高度自调整系统及方法 |
| 授权日 | 2022-12-23 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 兰欣;谢国芳;李乐洲 |
| 主分类号 | G01R1/073 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种扎针高度自调整系统及方法，获取探针尖与芯片的相对位置；当所述探针尖与芯片之间的距离小于预接触距离后，控制承片台相对于所述探针卡逐级运动，每次运动后进行芯片测试，获取测试数据；当测试数据有效时，确定承片台或芯片此时的位置为第一接触位，精细控制所述承片台再升高预定高度，使其达到第二接触位。本发明能够减少芯片测试过程中的人为干预，避免调节探针扎针高度过程中操作员操作不当对芯片测试产生的影响。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 节能环保产业 高效节能产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
