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专利号 202010879908X 申请日 2020-08-27 专利名称 基于涡旋光干涉费马螺线拟合的球面波曲率半径测量装置及方法
授权日 2022-12-20 专利权人 山东大学 发明人 杨忠明;杨栋;刘兆军
主分类号 G01B11/255 关键词 应用领域
摘要 本发明属于光学测量技术领域,涉及一种球面波曲率半径测量装置及方法。一种基于涡旋光干涉图样‑费马螺线拟合的球面波曲率半径测量装置,包括沿激光传输方向依次设置的激光器、扩束系统、第一分光棱镜、第一反射镜、第二反射镜、第二分光棱镜、CCD相机;在第一分光棱镜和第一反射镜之间依次设有四分之一波片和螺旋相位板;入射光的偏振方向与四分之一波片光轴的夹角成45°;所述CCD相机用于拍摄球面波与涡旋光的干涉强度图。本发明利用涡旋光干涉强度图样极大值分布满足标准费马螺线的原理,通过最小二乘法拟合极大值分布,获得费马螺线系数,进而求得球面波曲率半径,具有很高的测量精度和很宽的测量范围,且曲率半径求解算法简单。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 高端装备制造    智能制造装备产业
运营方式 合作方式
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【关 闭】