| 专利号 | 2018114077740 | 申请日 | 2018-11-23 | 专利名称 | 一种高速开关二极管芯片及生产工艺 |
| 授权日 | 2024-03-22 | 专利权人 | 山东农业工程学院 | 发明人 | 赵志桓;巩光昊;张礼;王传超;潘莹月;刘伟丽;郭英华;刘彩虹;王春凤;唐雪娇 |
| 主分类号 | H01L29/861 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种高速开关二极管芯片及生产工艺，所述芯片横截面为圆形，包括：衬底，所述衬底上表面生长有外延层；所述外延层上表面为第一氧化层，所述第一氧化层上光刻环形隔断槽，所述隔断槽内为扩散区，所述隔断槽外为截断环；所述第一氧化层上表面为第二氧化层，所述第二氧化层上光刻引线孔；所述光刻引线孔内延伸至第二氧化层上表面设有蒸铝层。本发明能够使高速开关二极管开关时间小于5ns，击穿电压大于100V，反向漏电流小于25nA。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
