| 专利号 | 2024111189881 | 申请日 | 2024-08-15 | 专利名称 | 一种ZrNbTiCrCu高熵纳米合金薄膜的制备方法 |
| 授权日 | 2024-10-22 | 专利权人 | 烟台大学 | 发明人 | 任萍;马啸飞;张尚洲;杨晓阳;李奂宇 |
| 主分类号 | C23C14/16 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种ZrNbTiCrCu高熵纳米合金薄膜的制备方法，属于纳米薄膜技术领域，对Ti‑6Al‑4V衬底进行超声清洗后，置于干燥箱内干燥后放入磁控溅射装置的真空腔体内，将ZrNbTiCrCu靶材安装在磁控溅射装置的靶位上；向真空腔体内通入Ar气体，调节工作压强，利用直流电流令ZrNbTiCrCu靶材进行溅射；溅射结束后，将真空腔体冷却至室温，得到ZrNbTiCrCu高熵纳米合金薄膜。本发明利用磁控溅射技术，在高熵合金薄膜体系中引入Cu元素，制备得到了一种同时兼备优异耐腐蚀性能、生物相容性和抗菌性能的高熵合金薄膜。同时，利用磁控溅射技术制备的高熵合金薄膜通用性极佳，制备过程中基体升温慢，涂层结构致密、性能优异。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进有色金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
