| 专利号 | 2023104612383 | 申请日 | 2023-04-23 | 专利名称 | 一种航天器太阳帆加工方法及太阳帆 |
| 授权日 | 2025-09-16 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 任仲靖;李承阳;谢可才;孙首禹;徐阳;许泽昊;闫鹏 |
| 主分类号 | C23C14/04 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种航天器太阳帆加工方法及太阳帆，包括以下步骤：在硅片上旋涂底层，然后在底层上旋涂柔性基底薄膜；使用光刻工艺在柔性基底薄膜上形成第一沉积区，在第一沉积区内沉积薄膜电极；对完成薄膜电极沉积后的整体结构使用光刻工艺形成第二沉积区，然后在第二沉积区沉积合金梁，合金梁沉积在相邻两个薄膜电极之间；使用光刻工艺在合金梁上形成第三沉积区，在第三沉积区沉积反射梁，去除合金梁和柔性基底薄膜、薄膜电极之间因光刻工艺残留的光刻胶和牺牲层，将柔性基底薄膜从底层上剥离，以使得柔性基底薄膜产生残余应力，采用本发明的加工方法加工出的太阳帆抗弯刚度高，省去了支撑机构。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进有色金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
