| 专利号 | 2022100311880 | 申请日 | 2022-01-12 | 专利名称 | 一种基于卷曲硅纳米膜的气体传感器制备方法及应用 |
| 授权日 | 2024-01-30 | 专利权人 | 青岛大学 | 发明人 | 刘相红;胡殷华;张军;娄成名 |
| 主分类号 | C23C14/04 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明属于气体传感器技术领域，涉及一种基于卷曲硅纳米膜的气体传感器制备方法及应用，通过电子束蒸发沉积技术在玻璃衬底上生长Si敏感薄膜，并通过适当方法使其卷曲形成薄膜卷管，然后制成气体传感器用于二氧化氮气体检测，将具有气体敏感性的薄膜从二维平面器件转变成为三维的薄膜卷管器件，大大提高了器件的比表面积，而且薄膜厚度精确可控，适合于批量制备气体传感器，对于气敏材料的研制和气体传感器应用具有重要价值。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进有色金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
