| 专利号 | 2024113751888 | 申请日 | 2024-09-30 | 专利名称 | 一种248.3nm单频全固态深紫外激光系统及方法 |
| 授权日 | 2025-02-07 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 赵智刚;程天祥;刘兆军;丛振华 |
| 主分类号 | H01S3/094 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明属于激光器技术领域，为解决现有深紫外激光系统复杂的问题，提供一种248.3nm单频全固态深紫外激光系统及方法。其中，248.3nm单频全固态深紫外激光系统包括种子激光源光路、三倍频光路、光参量振荡器光路及和频光路；种子激光源光路对设定波长单频种子激光依次进行调制和放大，再进行分光处理，分别再传送至三倍频光路及光参量振荡器光路；三倍频光路产生1/3倍设定的激光并输出至和频光路；光参量振荡器光路通过光参量振荡产生相匹配波长的激光并输出至和频光路；和频光路进行和频，产生248.3nm深紫外激光。其无需复杂的外部时序控制电路，可大幅降低系统复杂度和造价，提高系统稳定性和可靠性。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
