| 专利号 | 2021115456182 | 申请日 | 2021-12-16 | 专利名称 | 一种基于双波长涡旋光束相移干涉的拼接主镜共相误差检测系统及其工作方法 |
| 授权日 | 2022-12-20 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 杨忠明;杨丽丽;刘兆军 |
| 主分类号 | G01B11/24 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种基于双波长涡旋光束相移干涉的拼接主镜共相误差检测系统及其工作方法，包括：第一激光器、第一扩束器、第二激光器、第二扩束器、第一分束器、第二分束器、四分之一波片、零级涡旋波片、第三分束器、平面反射镜、PZT位移平台、聚焦透镜、第四分束器、调制透镜、第五分束器、CCD相机、拼接镜、PC终端；本发明将涡旋光束相移干涉与双波长算法结合用于拼接镜的共相误差检测中，本发明避免了一些加工难度大的器件的使用，并且测量精度高、测量范围大、检测效率高、实时性好、原理简单、不受2π模糊影响等，为拼接镜共相误差的测量提供了一种新颖有效的思路。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 高端装备制造 智能制造装备产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
