| 专利号 | 2022114734823 | 申请日 | 2022-11-23 | 专利名称 | 一种单晶硅微结构阵列的湿法刻蚀辅助飞秒激光加工方法 |
| 授权日 | 2023-04-11 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 姚鹏;王庆伟;徐相悦;王鹏飞;刘莉;褚东凯;屈硕硕;刘含莲;邹斌;黄传真 |
| 主分类号 | B81C1/00 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明属于微结构阵列加工领域，具体提出了一种单晶硅微结构阵列的湿法刻蚀辅助飞秒激光加工方法，在确定单晶硅的晶向后，采用飞秒激光沿着与所述晶向平行或/和垂直的方向进行加工，在单晶硅表面形成微结构阵列；将加工后的单晶硅在各向异性刻蚀液中进行湿法刻蚀。利用飞秒激光沿着单晶硅晶向进行直接加工，再对其进行湿法刻蚀，无需掩膜，加工效率大幅度提高。同时，该方法可以获得轮廓完整、结构一致性良好和高表面质量的倒金字塔阵列、V型沟槽阵列以及正金字塔阵列结构，能够有效的改善材料的光学性能，在微型太阳能电池和微光学系统中有着重要的应用。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
