| 专利号 | 2019104148072 | 申请日 | 2019-05-17 | 专利名称 | 基于移位和多项式拟合的全息像差绝对校准方法及系统 |
| 授权日 | 2020-11-27 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 刘振华;何伟林;杨忠明;刘兆军 |
| 主分类号 | G01B11/00 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种基于移位和多项式拟合的全息像差绝对校准方法及系统，属于光学测量领域，包括：采集第一幅全息图后正交移动样品两次并分别捕获得到三幅全息图；对全息图相位调解得到三个原始相位结果；对结果进行坐标变换，使得变换后的测试物体相位一致；差分计算得到系统像差相位在两次位移前后的相位差分数据；计算切比雪夫多项式系数进而计算出系统像差相位；对得到的包含像差的原始相位结果减去系统像差相位，得到测试物体相位。本发明可以有效地保护物体相的中高频信息，且对光路设置要求低，只需要增添一个额外的三轴位移平台就可以对任意传统的数字全息显微镜成像系统进行系统像差补偿。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 高端装备制造 智能制造装备产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
