| 专利号 | 2022108568281 | 申请日 | 2022-07-20 | 专利名称 | 一种电子控制晶圆平整度加工化学机械研磨设备 |
| 授权日 | 2023-09-29 | 专利权人 | 烟台职业学院 | 发明人 | 郭迎娣 |
| 主分类号 | B24B37/10 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及半导体制造的技术领域，特别是涉及一种电子控制晶圆平整度加工化学机械研磨设备，其提高研磨效率，增加晶圆研磨精度；包括操作台，操作台上设置有支撑柱，支撑柱上转动安装有摆动梁，摆动梁上设置有长槽孔，摆动梁转动安装使研磨加工区调节，摆动梁转动设置有安装座，安装座上转动设置有多组安装轴，安装座使多组安装轴与摆动梁转动安装，安装轴上同轴设置有研磨块。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 高端装备制造 智能制造装备产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
