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专利号 2021103897199 申请日 2021-04-12 专利名称 小型真空光电测试系统
授权日 2022-11-15 专利权人 青岛科技大学 发明人 盛新悦;李亚锡;马一诺;王红霞;宗兆存
主分类号 G01N21/01 关键词 应用领域
摘要 本发明公开了一种小型真空光电测试系统,真空机构包括真空罩,以及固定在真空罩内的平台底座;真空罩内固定有支撑架;加热机构包括固定在平台底座上的半导体加热片和金属平台;还包括位于真空罩外部,并用于控制半导体加热片温度调节的温控组件;激光激发机构用于向金属平台上的待测样品发射激光;性能测量机构与待测样品电性连接,用于在不同光辐照条件下进行电学信号的采集,完成待测样品的光电性能测试。本发明将待测样品外围电路搭建过程与光电性能探测过程分离,待测样品电路搭建由专业的设备完成,本测试平台可对完成电路搭建的样品通过简便接口连入电路,集中进行光电性能的探测,设备操作方便,成本低,改造扩展升级容易。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新材料产业    新材料相关服务
运营方式 合作方式
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【关 闭】