| 专利号 | 2019107269488 | 申请日 | 2019-08-07 | 专利名称 | 一种大行程高精度微纳运动伺服进给系统 |
| 授权日 | 2021-08-31 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 冯显英;王兆国;李沛刚;杜付鑫;孙德鹏;李慧 |
| 主分类号 | G05B19/41 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种大行程高精度微纳运动控制伺服进给系统，包括第一伺服电机、第二伺服电机、液体静压丝杠副、液压控制系统、压力检测装置、位移检测装置、位置反馈模块、运动控制器和PC机；液体静压丝杠副包括相互配合的丝杠和液体静压螺母组件；第一伺服电机驱动丝杠做旋转运动，第二伺服电机驱动液体静压螺母做旋转运动；两个伺服电机通过各自伺服驱动系统驱动；液体静压螺母组件带动工作台实现直线运动。位移检测装置一端与工作台相连，另一端和位置反馈模块相连，将测得的工作台位移信息反馈到所述位置反馈模块；位置反馈模块将信号反馈到运动控制器中；通过所述液体静压丝杠和螺母两个旋转运动的合成，实现工作台的精确的闭环进给控制。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 高端装备制造 智能制造装备产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
