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专利号 2019105961224 申请日 2019-07-03 专利名称 一种旋转补偿器的光谱磁光椭偏分析装置及其应用
授权日 2021-12-31 专利权人 山东大学 发明人 连洁;宋浩男;石玉君;戴凯;姜清芬;魏铭洋
主分类号 G01N21/21 关键词 应用领域
摘要 本发明公开了一种旋转补偿器的光谱磁光椭偏分析装置及其应用,所述光谱磁光椭偏分析装置包括光源模块、光路模块、磁场模块、样品台、电机控制模块、探测及分析模块,所述光路模块包括准直镜、起偏器、补偿器、检偏器,所述探测及分析模块包括计算机和探测器,所述准直镜、起偏器、补偿器、样品台、检偏器和探测器沿光路方向依次设置,起偏器、补偿器位于入射光路,检偏器位于出射光路,所述入射光路和出射光路位于所述样品台的两侧,且与样品台法线的夹角均为φ。本发明可以在纵向或极向磁光克尔效应下对磁性薄膜材料的光学和磁学参数进行表征,在一次测试中可以得到磁性薄膜样品的厚度、光学参数、磁学参数,自动化程度较高。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新材料产业    新材料相关服务
运营方式 合作方式
联系人 联系电话 电子邮箱
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【关 闭】