| 专利号 | 2019107556590 | 申请日 | 2019-08-15 | 专利名称 | 一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板及显示面板 |
| 授权日 | 2023-06-30 | 专利权人 | 青岛大学 | 发明人 | 单福凯;王珍;刘国侠 |
| 主分类号 | H01L29/786 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板及显示面板，所述制备方法包括步骤：提供一衬底；在所述衬底上制备介电层；在所述介电层上制备ZTO/SnO2双沟道层，其中，制备ZTO/SnO2双沟道层的具体包括：在所述介电层上制备SnO2薄膜；在所述SnO2薄膜上制备ZTO薄膜；在所述ZTO/SnO2双沟道层上制备源电极和漏电极。本发明提供了一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板及显示面板，解决了传统金属氧化物薄膜晶体管制备成本昂贵，工艺复杂，难以工业化生产或者可靠性差的难题。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
