| 专利号 | 2021106148638 | 申请日 | 2021-06-02 | 专利名称 | 离子束增强腐蚀制备晶体薄膜的方法 |
| 授权日 | 2023-03-03 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 谭杨;李慧琦;陈峰 |
| 主分类号 | H01S3/16 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种离子束增强腐蚀制备晶体薄膜的方法，该方法采用重离子束碳离子结合化学腐蚀法进行，利用离子辐照技术认为对晶体材料制造缺陷层，使用采用金刚石切割刀在辐照过的晶体表面进行切割制备出凹槽，进而将缺陷层暴露出来增大与酸溶液的接触面积，利用化学腐蚀技术对缺陷层进行腐蚀，实现大面积微米量级厚度晶体薄膜的剥离，实现晶体薄膜的快速制备，时间短、工序简单、成本低，易于大规模推广应用。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
